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        等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备重新招标澄清或变更公告(1)

        发布时间:2020-05-22

        招标项目编号:0613-204022081532
        项目名称:等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备
        项目名称(英文):PETEOS (Cu)
        招标人:上?;傻缏分圃煊邢薰?br/>招标机构:上?;缟璞刚斜暧邢薰?br/>招标机构代码:0613
        招标方式:公开招标
        投标报价方式:线下投标
        招标结果:重新招标

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